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1 绪论 1

1.1 薄膜光学概述 1

1.2 电磁理论基础 7

思考题与习题 16

2 光学薄膜特性的理论计算 17

2.1 光学薄膜特性计算方法 17

2.2 光学薄膜的普遍定理 23

2.3 单一界面上的反射率和透射率 31

2.4 单层介质膜的反射率 33

2.5 多层介质膜的反射率 38

思考题与习题 40

3 光学薄膜系统的设计 42

3.1 减反射膜 42

3.2 高反射膜 47

3.3 分束镜 57

3.4 截止滤光片 62

思考题与习题 68

4 薄膜制备技术 69

4.1 真空技术基础 69

4.2 薄膜制备方法 82

4.3 薄膜厚度的均匀性 113

4.4 膜层厚度的监控 117

思考题与习题 120

5 薄膜的形成与结构 122

5.1 凝结过程 122

5.2 核的形成与生长过程 125

5.3 薄膜的形成与生长 131

5.4 薄膜的结构与缺陷 134

思考题与习题 138

6 薄膜的表面与界面 139

6.1 表面界面特征与现象 139

6.2 吸附机理与吸附膜的形成机理 145

6.3 表面扩散与界面扩散 152

6.4 界面电气现象 155

6.5 界面接触效应 158

6.6 薄膜中的电迁移现象 163

思考题与习题 165

7 薄膜特性的测试 166

7.1 薄膜光学常数的测量 166

7.2 薄膜光学性能的测量 176

7.3 薄膜成分的表征方法 185

7.4 薄膜结构的表征方法 190

7.5 薄膜附着力的测量方法 195

思考题与习题 197

8 几种重要的功能薄膜材料 198

8.1 半导体薄膜 198

8.2 铁电薄膜 207

8.3 光学薄膜 210

思考题与习题 214

参考文献 215

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