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微纳尺度制造工程 英文版
(美)坎贝尔著2010 年出版638 页ISBN:9787121118043本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。本书新...
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CAXA制造工程师实例教程
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