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真空获得设备 第2版
杨乃恒主编1987 年出版236 页ISBN:7502425721本书主要内容包括:液环式真空泵;往复式真空泵;旋片式油封机械泵;罗茨式真空泵;涡旋式真空泵;其他类型真空泵等。介绍了真空机结构以及加热与测温装置,真空设备的抽气系统、真空室电和运动的导入结构、溅射镀膜......
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