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目录 1

第一章 绪论 1

第一节 光栅莫尔法概述 1

第二节 莫尔技术应用范围 6

第三节 莫尔技术的发展历史及应用展望 16

第二章 莫尔信息原理 26

第一节 概述 26

第二节 遮光阴影原理 28

第三节 衍射、干涉原理 39

第四节 频谱分析原理 53

第五节 光栅副间隙及菲涅尔焦面 62

第六节 光学滤波 69

第三章 莫尔信号检测 96

第一节 莫尔信号技术指标 96

第二节 莫尔信号反差 106

第三节 谐量抑制 112

第四节 莫尔信号接收 121

第五节 光栅读数头 130

第六节 读数头元件设计 145

第四章 光栅制造 158

第一节 概况 158

第二节 刻划法制造光栅 159

第三节 光刻法制造光栅 165

第四节 光栅检定 173

第五节 光栅复制 187

第六节 衍射光栅和其他特殊光栅制造法 193

第五章 光栅性能处理技术 201

第一节 光栅组合花样应用 201

第二节 莫尔条纹轮廓推算 211

第三节 光栅衍射性能测试 214

第四节 光栅透过率函数 218

第五节 光栅光密度研究 224

第六章 莫尔偏折术和应变测试 230

第一节 莫尔偏折术原理 230

第二节 莫尔偏折术应用 233

第三节 莫尔应变测试原理 246

第四节 莫尔应变测试方法 253

第一节 长度读出装置 261

第七章 长度测量中的应用 261

第二节 数字式万能测长系列 278

第三节 光栅式双光束干涉仪 283

第八章 角度测试和控制 298

第一节 光电轴角编码器 298

第二节 光电圆刻机 311

第三节 传动链测试仪 322

第四节 圆光栅误差数字化检测装置 333

第九章 光栅调制测形法 342

第一节 光栅调制测形原理 342

第二节 莫尔形貌法 346

第三节 变形光栅形貌法 367

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