日中中日半导体制造技术词典PDF格式文档图书下载
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- 作 者：林少霖编
- 出 版 社：上海：上海大学出版社
- 出版年份：2011
- ISBN：9787811187731
- 标注页数：382 页
- PDF页数：391 页
图书介绍：本书收集了有关半导体（集成块）制造方面的技术用语，内容包括了半导体材料、硅氧化、光刻和刻蚀等加工工艺和外观检验、性能检验的基本专业词汇，对研究和开发半导体制造技术、从事半导体（集成电路）制造的人员学习和阅读相关技术文献等具有一定的参考价值。
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