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6运用热释电和热电效应的气体传感器 1

1传感器工作的基本原理 1

2热能转换材料 2

3制造与封装 6

4参数 9

5传感器参数的优化方法 12

6应用领域与传感器市场 20

7总结 23

参考文献 23

7量热式传感器 27

1引言 27

2量热式传感器的基本原理 28

3催化燃烧设备 32

4薄膜与MEMS设备 32

5材料 39

6毒化 41

7信号分析与运行模式 43

8封装 45

9应用 49

10结论 55

参考文献 55

8基于微悬臂梁的化学传感器 61

1引言 61

2微悬臂梁及其运行模式 62

3微悬臂偏转检测方法 64

4谐振工作模式 69

5微悬臂梁的弯曲行为 72

6励磁技术 74

7微悬臂梁的制备 75

8表面功能化 82

9微悬臂梁式传感器 89

10悬臂梁式化学传感器的应用 91

11生物传感器的应用 100

12超敏感纳米悬臂梁 103

13基于微机械悬臂梁阵列的电子鼻 104

14商业地位 107

15展望与未来趋势 107

参考文献 108

9石英晶体微天平 117

1引言 117

2压电材料 121

3石英晶体微天平（QCM）的操作基础 126

4 QCM反应的理论分析 137

5 QCM传感器的应用 150

6展望 168

7石英晶体与石英晶体微平衡公司 169

8术语 169

9致谢 171

10推荐延伸阅读 171

参考文献 171

10声表面波传感器的化学应用 187

1引言 187

2最先进的声表面波（SAW）传感器 188

3包覆材料 197

4应用 204

5表面与体声波设备的比较 211

6 SAW传感器的市场 211

7 SAW传感器的功能与局限性 213

8展望 215

参考文献 215

11集成化学传感器 225

1引言 225

2 CMOS技术 226

3 NIST CMOS MEMS技术 234

4 CMU CMOS MEMS技术 238

5 Jazz SiGe BiCMOS技术 244

6集成CMOS技术的其他类型MEMS气体传感器 247

7结论 251

参考文献 251

索引 255

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