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GB/T 3163—2007真空技术 术语 1

GB/T 3164—2007真空技术 图形符号 93

GB/T 4982—2003真空技术 快卸连接器 尺寸第1部分：夹紧型 109

GB/T 4983—2003真空技术 快卸连接器 尺寸第2部分：拧紧型 115

GB/T 6070—2007真空技术 法兰尺寸 125

GB/T 6071—2003超高真空法兰 139

GB/T 7774—2007真空技术 涡轮分子泵性能参数的测量 149

GB/T 11164—2011真空镀膜设备通用技术条件 163

GB/T 16709.1—2010真空技术 管路配件的装配尺寸第1部分：非刀口法兰型 171

GB/T 16709.2—2010真空技术 管路配件的装配尺寸第2部分：刀口法兰型 177

GB/T 18193—2000真空技术 质谱检漏仪校准 183

GB/T 19955.1—2005蒸汽流真空泵性能测量方法第1部分：体积流率（抽速）的测量 197

GB/T 19955.2—2005蒸汽流真空泵性能测量方法第2部分：临界前级压力的测量 205

GB/T 19956.1—2005容积真空泵性能测量方法第1部分：体积流率（抽速）的测量 211

GB/T 19956.2—2005容积真空泵性能测量方法第2部分：极限压力的测量 219

GB/T 21271—2007真空技术 真空泵噪声测量 225

GB/T 21272—2007蒸汽流真空泵性能测量方法 泵液返流率和加热时间的测量 251

GB 22360—2008真空泵 安全要求 261

GB/T 25752—2010差压式气密检漏仪 283

GB/T 25753.1—2010真空技术 罗茨真空泵性能测量方法第1部分：最大允许压差的测量 294

GB/T 25753.2—2010真空技术 罗茨真空泵性能测量方法第2部分：零流量压缩比的测量 301

GB/T 25753.3—2011真空技术 罗茨真空泵性能测量方法第3部分：溢流阀压差的测量 307

GB/T 25753.4—2015真空技术 罗茨真空泵性能测量方法第4部分：噪声的测量 317

GB/T 25754—2010真空技术 直角阀 尺寸和气动装置的接口 325

GB/T 25755—2010真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量 333

GB/Z 25756—2010真空技术 可烘烤法兰 刀口法兰尺寸 344

GB/T 28786—2012真空技术 真空镀膜层结合强度测量方法 胶带粘贴法 353

GB/T 32218—2015真空技术 真空系统漏率测试方法 363

GB/T 32221—2015真空技术 航天器用真空热环境模拟试验设备 通用技术条件 379

GB/T 32292—2015真空技术 磁流体动密封件 通用技术条件 399

GB/T 32293—2015真空技术 真空设备的检漏方法选择 407

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