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0绪论 1

0.1真空测量 1

0.2真空计校准 2

0.3真空检漏 2

0.4真空测量仪器电路及其发展 3

0.5真空设备控制技术 4

1真空测量概述 6

1.1真空度的表征、单位和真空区域划分 6

1.2真空计分类 8

1.3真空计测量范围 9

1.4真空测量的特点和真空计选择原则 11

2液位式真空计 12

2.1U型管真空计 12

2.2压缩式真空计 14

3弹性变形真空计和粘滞性真空计 22

3.1弹性元件真空表 22

3.2电容式薄膜真空计 23

3.3振膜真空计 26

3.4磁悬浮转子真空计 28

4热传导真空计 31

4.1热传导真空计的工作原理 31

4.2热传导真空计的测量范围 33

4.3电阻真空计 34

4.4热偶真空计 37

4.5已知混合气体成分真空度的测量 40

4.6热传导真空计的优缺点 41

5电离真空计 42

5.1热阴极电离真空计的工作原理 42

5.2普通型热阴极电离真空计 44

5.3热阴极电离真空计的测量电路 48

5.4高压力热阴极电离真空计 53

5.5超高真空热阴极电离真空计 57

5.6冷阴极电离真空计 64

5.7放射性电离真空计 70

6分压力测量和残余气体分析 72

6.1概述 72

6.2四极质谱计 76

6.3其他质谱计 86

6.4识谱技术 89

7真空计校准 93

7.1概述 93

7.2静态膨胀法 96

7.3动态流导法 99

7.4标准压缩式真空计 102

7.5副标准真空计 105

8真空测量技术 107

8.1气体种类对真空测量的影响 107

8.2测量系统对被测系统的影响 108

8.3真空规管安装对测量的影响 111

8.4特殊条件下的真空测量 112

9真空检漏概述 114

9.1漏气判断和漏孔表示法 114

9.2最大允许漏率的估算 115

9.3检漏方法分类 117

9.4对检漏方法的要求与选择 119

10各种检漏方法 120

10.1静态升压法 120

10.2气泡检漏法 121

10.3氨气检漏法 122

10.4真空计检漏法 123

10.5离子泵检漏法 125

10.6氢—钯检漏法 126

10.7荧光检漏法 127

10.8放射性同位素检漏法 128

10.9慢性漏气的加速检测法 129

11真空检漏仪器 130

11.1高频火花检漏仪 130

11.2卤素检漏仪 132

11.3气敏半导体检漏仪 134

11.4氦质谱检漏仪 135

11.5漏率测量的误差 152

11.6真空检漏工作的注意事项 152

12标准漏孔 155

12.1标准漏孔及其常用的结构形式 155

12.2标准漏孔的校准 157

12.3标准漏孔使用中应注意的问题 157

13真空测量仪器电路 159

13.1WZK—1A复合真空计 159

13.2DC—3型超高真空计 160

13.3ZDZ—2D数字电阻真空计 166

13.4数字化热偶真空计 168

13.5ZDR—10型微机化电离真空计 170

13.6DNB束功率测量系统设计 172

14真空设备与系统的自动控制 177

14.1真空系统电气控制概述 177

14.2真空获得设备控制电路 180

14.3真空镀膜机继电器控制电路 182

14.4真空热处理炉真空测量与控制电路 184

14.5真空冷冻干燥机电加热系统控制 188

14.6真空钎焊炉温度测控电路 192

14.7镀膜生产线程序控制系统 197

14.8真空压力浸漆设备PLC控制系统 201

14.9同步辐射光源真空控制系统 215

14.10真空冶金设备抽气装置专家系统 219

参考文献 225

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