微电子与光电子集成技术PDF格式文档图书下载
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- 作 者:陈弘达著
- 出 版 社:北京:电子工业出版社
- 出版年份:2008
- ISBN:7121051508
- 标注页数:303 页
- PDF页数:317 页
第1章 概述 1
1.1 微电子技术简介 1
1.1.1 双极型微电子技术简介 1
1.1.2 MOS微电子技术简介 4
1.1.3 Bi-CMOS微电子技术简介 7
1.1.4 SOI微电子技术简介 8
1.2 光电子技术简介 9
1.2.1 光发射器件简介 10
1.2.2 光接收器件简介 11
1.2.3 光波导器件简介 12
1.2.4 太阳能电池 13
1.2.5 电子图像显示器件 14
1.3 工艺与制备 15
1.3.1 MBE工艺 15
1.3.2 MOCVD工艺 17
1.3.3 氧化 19
1.3.4 化学气相沉积(CVD) 20
1.3.5 刻蚀 20
1.3.6 光学光刻 23
1.3.7 离子注入 27
1.3.8 金属化 29
1.4 微电子与光电子集成技术简介 30
参考文献 31
第2章 光发射器件及集成技术 32
2.1 光发射器件理论基础 32
2.1.1 晶体结构 32
2.1.2 能带结构 34
2.1.3 杂质能级 36
2.1.4 半导体发光基础理论 39
2.2 光发射二极管 41
2.2.1 概述 41
2.2.2 半导体光发射二极管的基本结构 42
2.2.3 发光二极管性质 44
2.2.4 硅基光发射二极管 46
2.3 半导体激光器 59
2.3.1 半导体激光器分类 60
2.3.2 异质结激光器 61
2.3.3 分布反馈激光器(DFB-LD) 62
2.3.4 量子阱激光器 63
2.3.5 硅基半导体激光器 64
2.4 垂直腔面发射激光器(VCSEL) 65
2.4.1 VCSEL的理论分析 66
2.4.2 VCSEL的总体结构设计 71
2.4.3 VCSEL中反射镜的设计 72
2.4.4 VCSEL光腔的设计 76
2.4.5 几种典型的VCSEL结构及其制作工艺 77
参考文献 82
第3章 光接收器件及集成技术 84
3.1 光电探测器理论基础 84
3.1.1 半导体中的光吸收 84
3.1.2 光生载流子 86
3.2 光电探测器性能参数 90
3.2.1 量子效率和响应度 91
3.2.2 频率响应 92
3.2.3 噪声和探测度 92
3.3 基于Ⅲ-Ⅴ族半导体材料的光电探测器 94
3.3.1 PIN型光电探测器 95
3.3.2 APD光电探测器 103
3.3.3 MSM光电探测器 107
3.3.4 GaN基紫外光电探测器 107
3.4 基于硅基双极型工艺的光电探测器 112
3.4.1 与标准双极工艺兼容的集成光电探测器 112
3.4.2 修改双极工艺条件下的集成光电探测器 114
3.5 基于硅基CMOS工艺的集成光电探测器 118
3.5.1 基于标准CMOS工艺的集成光电探测器 119
3.5.2 定制CMOS工艺下的PIN光电探测器 126
3.5.3 BiCMOS工艺下集成光电探测器 131
3.6 锗硅光电探测器 133
3.7 光电探测器阵列 136
参考文献 139
第4章 光波导器件及集成技术 144
4.1 光传输的理论概述 144
4.1.1 线光学理论 144
4.1.2 电磁场理论基础 151
4.2 光波导基本结构 157
4.3 SOI光波导 160
4.3.1 SOI光波导结构 160
4.3.2 光波导的折射率及损耗系数 163
4.3.3 硅光波导中损耗的分类 164
4.3.4 硅中的光调制机制 166
4.4 光波导器件制作技术 167
4.4.1 SOI基片的制备 167
4.4.2 SOI波导工艺特点简介 169
4.5 硅基电光调制器件简介 171
4.5.1 硅基电光调制器分类 171
4.5.2 光相位调制器 173
参考文献 184
第5章 光电子专用集成电路 186
5.1 光电子专用集成电路设计 186
5.2 光发射器驱动电路 187
5.2.1 光纤通信系统中光发射器的驱动电路 187
5.2.2 照明系统中光发射器的驱动电路 192
5.3 光接收器前置放大电路 194
5.3.1 跨阻前置放大器的频率响应 198
5.3.2 跨阻前置放大器的相位和群延时 199
5.3.3 跨阻前置放大器的噪声和灵敏度 201
参考文献 205
第6章 硅基光电子集成回路 206
6.1 硅基光电子集成回路(OEIC)概述 206
6.2 集成硅基光发射器 208
6.2.1 光发射机参数 208
6.2.2 LED发射器 209
6.2.3 LD光发射机 211
6.3 集成硅基光波导 216
6.3.1 场氧化结构做光波导 216
6.3.2 金属间光波导 218
6.3.3 磷硅酸玻璃光波导 219
6.4 集成硅基光电接收器 221
6.4.1 SiGe工艺单片集成光电接收器 222
6.4.2 CMOS工艺单片集成光电接收器 222
6.4.3 BiCMOS工艺单片集成光电接收器 225
参考文献 226
第7章 甚短距离光传输模块及相关技术 228
7.1 甚短距离光传输技术(VSR)简介 228
7.1.1 VSR的定义和标准 229
7.1.2 VSR在网络体系中的位置 230
7.1.3 VSR技术的基本工作形式 231
7.1.4 VSR技术的主要特点 231
7.1.5 VSR技术发展历史、研究现状和发展趋势 232
7.2 并行光传输模块及关键技术 233
7.2.1 并行光发射模块 233
7.2.2 并行光接收模块 239
7.2.3 光纤传输技术 241
7.2.4 粗波分复用(CWDM)技术 250
参考文献 256
第8章 微电子与光电子混合集成技术 257
8.1 微光电子集成智能像素概述 257
8.1.1 智能像素中的光子集成器件及集成技术 258
8.1.2 智能像素的应用 261
8.2 SEED智能像素 264
8.2.1 SEED器件 264
8.2.2 SEED智能像素总体设计 266
8.2.3 SEED智能像素制备工艺 269
8.3 SEED列阵研制 271
8.3.1 适合于倒装焊结构的量子阱外延材料 271
8.3.2 含DBR反射结构的量子阱外延材料 273
8.3.3 SEED列阵设计与制备 276
8.3.4 SEED器件特性测量 278
8.3.5 SEED器件模式调整技术 280
8.4 智能像素电路设计与模拟 283
8.4.1 智能像素电路特点 283
8.4.2 智能像素接收电路 284
8.4.3 智能像素驱动电路 285
8.5 智能像素集成技术基础工艺 287
8.5.1 硅V形槽制备技术 287
8.5.2 SEED列阵光纤耦合 287
8.5.3 倒装焊铟柱电镀制备技术 288
8.6 微光电子集成智能像素发展前景 288
8.6.1 智能像素性能评估 288
8.6.2 SEED智能像素与VCSEL智能像素比较 290
8.6.3 微光电子集成智能像素的实用化 290
8.7 小结 291
参考文献 293
第9章 微电子与光电子集成技术展望 296
9.1 混合光电子集成技术 297
9.2 单片光电子集成技术 297
9.3 应用展望 298
附录A 缩略语 300
- 《微电子与光电子集成技术》陈弘达著 2008
- 《国家高技术信息领域光电子器件与集成技术主题 1994光电子器件与集成技术年会 论文集》周炳琨,王启明主编 1994
- 《光电子器件与微电子光电子系统集成技术论文摘要集 1986-1990》国家科委高技术计划信息领域办公室编 1991
- 《高速光电子器件建模及光电集成电路设计技术》高建军著 2009
- 《1989光电子器件与集成技术年会论文集》 2222
- 《1991光电子器件与集成技术年会论文集》周炳琨主编 1992
- 《1989光电子器件与集成技术年会论文集 1989年3月》周炳琨主编 1990
- 《半导体光电子技术》余金中编著 2003
- 《电子科学与技术专业英语 光电子技术分册》张爱红总主编;林殿阳主编 2003
- 《英汉微电子与光电子技术词典》姜岩峰主编;刘文楷等编写 2006
- 《微电子与光电子集成技术》陈弘达著 2008
- 《鲍弘达画集》鲍弘达著 2007
- 《甚短距离光传输技术》陈弘达,左超编著 2005
- 《药剂科 药房 的科学管理》程弘达,何钧珑编写 1986
- 《澳门文物建筑笔记》张鹊桥,陈建成著;陈建成摄影插图 2008
- 《黄河传》陈梧桐,陈名杰著 2001
- 《家长的修养》陈雪良,陈贤德著 1987
- 《玛雅星空》陈忠厚,陈清贫著 2009
- 《传播学概论》陈国明,陈雪华著 2005
- 《危机公关》(英)迈克尔·里杰斯特(Michael Regester)著;陈向阳,陈 宁译 1995
- 《北京工业志 电子志》卜世成,高玉庆主编 2001
- 《北京志 工业卷 68 电子工业志 仪器仪表工业志》北京市地方志编纂委员会编著 2001
- 《网络互联技术手册 第2版》(美)(K.唐斯)Kevin Downes等著;包晓露等译 1999
- 《当代北京广播电视和电子元件工业》《当代北京工业丛书》编辑部编 1988
- 《电子电路实验》梅开乡,梅军进主编;陈大力,吴勇平,李鹏鹏副主编 2014
- 《操作系统》韩仲清主编 1990
- 《'94北京国际电子出版研讨会论文集》粟武宾主编 1994
- 《dBASE Ⅲ PLUS》GOTOP编著 1995
- 《PowerPoint 97 操作导引》王耆,李文润编著 1998
- 《多媒体数据压缩技术》高文著 1994