耐磨防腐非晶碳薄膜技术PDF格式文档图书下载

1 绪论 1

1.1 冶金设备磨损腐蚀现状 1

1.2 非晶碳薄膜概述 2

1.2.1 非晶碳薄膜的简介 2

1.2.2 非晶碳薄膜的结构 4

1.2.3 非晶碳薄膜的力学性能 6

1.2.4 非晶碳薄膜的耐磨性能 8

1.2.5 非晶碳薄膜的防腐性能 10

参考文献 11

2 非晶碳薄膜制备技术 16

2.1 气相沉积技术 16

2.1.1 等离子体增强化学气相沉积技术 16

2.1.2 多弧离子镀技术 17

2.1.3 磁控溅射技术 18

2.2 液相沉积技术 20

2.2.1 低压沉积技术 20

2.2.2 高压沉积技术 23

参考文献 27

3 气相法单金属复合非晶碳耐磨薄膜 29

3.1 单金属复合非晶碳Ti/a-C：H耐磨薄膜 30

3.1.1 Ti/a-C：H薄膜的微结构 31

3.1.2 Tia-C：H薄膜的力学性能 34

3.1.3 Ti/a-C：H薄膜的摩擦磨损行为 37

3.2 单金属复合非晶碳Cr/a-C：H耐磨薄膜 41

3.2.1 Cr/a-C：H薄膜的微结构 42

3.2.2 Cr/a-C：H薄膜的力学性能 45

3.2.3 Cr/a-C：H薄膜的摩擦磨损行为 46

3.3 单金属复合非晶碳Fe/a-C：H耐磨薄膜 52

3.3.1 Fe/a-C：H薄膜的微结构 53

3.3.2 Fe/a-C：H薄膜的力学性能 55

3.3.3 Fe/a-C：H薄膜的摩擦磨损行为 57

参考文献 63

4 气相法稀土改性纳米复合非晶碳耐磨薄膜 67

4.1 稀土改性纳米复合非晶碳（Ti，Ce）/a-C：H耐磨薄膜 68

4.1.1 稀土改性（Ti，Ce）/a-C：H薄膜的微结构 68

4.1.2 稀土改性（Ti，Ce）/a-C：H薄膜的力学性能 71

4.1.3 稀土改性（Ti，Ce）/a-C：H薄膜的摩擦磨损行为 72

4.2 稀土改性纳米复合非晶碳（Cr，Ce）/a-C：H耐磨薄膜 76

4.2.1 稀土改性（Cr，Ce）/a-C：H薄膜的微结构 76

4.2.2 稀土改性（Cr，Ce）/a-C：H薄膜的力学性能 79

4.2.3 稀土改性（Cr，Ce）/a-C：H薄膜的摩擦磨损行为 80

4.3 稀土改性纳米复合非晶碳（Cu，Ce）/Ti-DLC耐磨薄膜 84

4.3.1 稀土改性（Cu，Ce）/Ti-DLC薄膜的微结构 84

4.3.2 稀土改性（Cu，Ce）/Ti-DLC薄膜的力学性能 86

4.3.3 稀土改性（Cu，Ce）/Ti-DLC薄膜的摩擦磨损行为 87

参考文献 88

5 液相法纳米晶复合非晶碳防腐薄膜 91

5.1 镍纳米晶复合非晶碳Ni/a-C：H防腐薄膜 92

5.1.1 Ni/a-C：H薄膜的制备过程 92

5.1.2 Ni/a-C：H薄膜的表面形貌 93

5.1.3 Ni/a-C：H薄膜的结构表征 94

5.1.4 Ni/a-C：H薄膜的润湿性 98

5.1.5 Ni/a-C：H薄膜的自清洁力 99

5.1.6 Ni/a-C：H薄膜的腐蚀性能 99

5.2 钴纳米晶复合非晶碳Co/a-C：H防腐薄膜 101

5.2.1 Co/a-C：H薄膜的制备过程 101

5.2.2 Co/a-C：H薄膜的表面形貌 101

5.2.3 Co/a-C：H薄膜的结构表征 103

5.2.4 Co/a-C：H薄膜的结合力 104

5.2.5 Co/a-C：H薄膜的自清洁力 104

5.2.6 Co/a-C：H薄膜的腐蚀性能 105

参考文献 107

6 液相法石墨烯/碳纳米管增强非晶碳防腐薄膜 109

6.1 石墨烯增强非晶碳G-Ni/a-C：H防腐薄膜 109

6.1.1 G-Ni/a-C：H薄膜的制备过程 110

6.1.2 G-Ni/a-C：H薄膜的表面形貌 110

6.1.3 G-Ni/a-C：H薄膜的结构表征 111

6.1.4 G-Ni/a-C：H薄膜的润湿性 113

6.1.5 G-Ni/a-C：H薄膜的结合力 114

6.1.6 G-Ni/a-C：H薄膜的自清洁力 114

6.1.7 G-Ni/a-C：H薄膜的腐蚀性能 115

6.2 石墨烯增强非晶碳GO-Co/a-C：H防腐薄膜 118

6.2.1 GO-Co/a-C：H薄膜的制备过程 118

6.2.2 GO-Co/a-C：H薄膜的表面形貌 119

6.2.3 GO-Co/a-C：H薄膜的结构表征 119

6.2.4 GO-Co/a-C：H薄膜的润湿性 124

6.2.5 GO-Co/a-C：H薄膜的结合力 124

6.2.6 GO-Co/a-C：H薄膜的自清洁力 125

6.2.7 GO-Co/a-C：H薄膜的腐蚀性能 127

6.2.8 GO-Co/a-C：H薄膜的成膜机理 129

6.3 碳纳米管增强非晶碳MWCNTs-Co/a-C：H防腐薄膜 130

6.3.1 MWCNTs-Co/a-C：H薄膜的制备过程 131

6.3.2 MWCNTs-Co/a-C：H薄膜的表面形貌 131

6.3.3 MWCNTs-Co/a-C：H薄膜的结构表征 133

6.3.4 MWCNTs-Co/a-C：H薄膜的润湿性 134

6.3.5 MWCNTs-Co/a-C：H薄膜的结合力 135

6.3.6 MWCNTs-Co/a-C：H薄膜的自清洁力 136

6.3.7 MWCNTs-Co/a-C：H薄膜的腐蚀性能 138

6.3.8 MWCNTs-Co/a-C：H薄膜的成膜机理 141

参考文献 143

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