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第一章 光学零件的真空镀膜 1

一、真空基础知识 1

1. 真空与真空镀膜 1

2.真空的产生 6

3.真空管道与阀门 22

4.真空材料与密封 24

5.真空测量 29

1.概述 31

二、真空镀膜机 31

2.真空镀膜机的构成 34

3.真空镀膜机的安装与调试 38

4.真空镀膜机的使用和维护 40

三、真空蒸镀方法 45

1.电阻热蒸镀法 45

2.电子束轰击热蒸镀法 49

3.反应热蒸镀法 53

1.目视法 56

四、膜层厚度的检测 56

2.光电极值法 59

3.波长调制法 61

4.石英晶体移频法 64

5.差值指零法 66

五、真空镀膜中工艺因素的影响 68

1.薄膜的形成及膜层结构 68

2.真空度对膜层的影响 72

3.沉积速率对膜层的影响 74

4.基片温度对膜层的影响 75

5.基片表面的清洁处理 76

6.膜层厚度均匀性及夹具设计 82

六、真空镀增透膜 93

1.增透膜的原理和应用 93

2.单层氟化镁增透膜 97

3.多层增透膜 103

4.红外材料的增透膜 112

七、真空镀反射膜 115

1.金属反射膜 115

2.介质高反射膜 124

3.金属-介质反射膜 135

八、真空镀分光膜 136

1.金属中性分光膜 137

2.介质中性分光膜 140

3.偏振分光膜 143

4.分色膜 145

5.冷反光膜 148

九、真空镀滤光膜 152

1.光密度中性滤光膜 152

2.带通干涉滤光膜 153

3.截止滤光膜 166

第二章 化学镀膜 174

一、酸蚀法镀增透膜 174

1.原理 177

二、水解沉积法镀增透膜和分光膜 177

2.硅酸乙酯及钛酸乙酯的制备 178

3.镀膜工艺 182

4.膜层疵病分析 189

三、化学镀银 191

1.原理 191

2.镀银溶液的配制 193

3.镀银工艺过程 196

4.镀铜及涂保护层 199

5.镀银过程中的工艺因素影响 201

第三章 光学分划零件的刻划 205

一、刻划零件及其刻划方法 205

1.刻划零件种类 205

2.刻划方法 207

二、刻刀 208

1.刻刀的材料 208

2.刻刀的类型 210

3.刻刀的制造与刃磨 215

三、刻划设备 221

1.刻划机类型及精度 221

2.圆刻划机 222

3.长刻划机 237

4.缩放刻线机 245

5.刻划机的维护 251

四、机械法刻划 251

1.圆刻机的校正 251

2.长刻机的校正 256

3.刻字机的校正 257

4.度盘刻划工艺图示 257

5.标尺刻划工艺图示 260

五、机械-化学法刻划 260

1.原理及过程 260

3.耐酸保护蜡层 261

2.零件材料 261

4.腐蚀液 265

5.填色颜料 267

6.机械-化学法图示 268

六、机械-物理法刻划 269

1.原理与过程 269

2.金属底层 270

3.镀铬工艺图示 271

4.真空镀黑铬工艺 273

第四章 光学分划零件的照相 274

一、照相方法原理 274

二、照相设备 275

1.暗室设备 275

2.照相机械设备 276

3.绘图设备 278

4.光源设备 279

1.初缩照相(湿片的工艺过程) 281

三、照相及复制工艺 281

5.照相复制设备 281

2.精缩底版照相 292

3.底版制取的其它方法 296

4.几种常用的复制工艺 299

第五章 光栅制造 317

一、光栅概述 317

1.计量光栅 317

2.物理光栅 325

1.机械刻划法制造计量光栅 326

二、计量光栅的制造 326

3.投影光刻计量光栅 330

2.复制计量光栅 331

三、物理学栅的制造 353

1.刻划法制造物理光栅 353

2.平面衍射光栅的复制 356

3.全息光栅 365

1.计量光栅检验 374

四、光栅质量检验 374

2.物理光栅检验 382

第六章 光学零件的胶合 388

一、粘接剂 388

1.冷杉树脂胶 389

2.甲醇胶 390

3.环氧树脂胶 393

二、胶合定中心 396

三、胶合工艺 409

1.冷杉树脂胶胶合工艺 409

2.甲醇胶胶合工艺 411

3.环氧树脂胶胶合工艺 413

四、胶合疵病及其产生原因 414

1.脱胶 414

2.表面变形 416

3.透过率低或胶层不洁 419

4.透镜中心偏或棱镜角度超差 420

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