半导体器件平面工艺 制版PDF格式文档图书下载
- 购买点数:9 点
- 作 者:上海无线电十七厂
- 出 版 社:上海:上海人民出版社
- 出版年份:1971
- ISBN:15·4·193
- 标注页数:154 页
- PDF页数:162 页
第一章 制版概述 1
1-1 制版的意义 1
1-2 对光刻掩模的要求 1
目录 1
1-3 制版工艺流程 2
第二章 绘图与刻图 4
2-1 概述 4
2-2 绘图 4
2-3 刻图 10
2-4 复合版的刻图 12
2-5 刻图后的检查 14
2-6 补拍版子的方法 15
Ⅰ 罗甸湿版 17
3-1 罗甸湿版的制造 17
第三章 初缩工艺 17
3-2 罗甸湿版所使用的药品及配方 31
3-3 湿版工艺中的常见故障及排除方法 35
Ⅱ 高反差明胶干版 36
3-4 高反差明胶干版的制造 37
3-5 几个问题的说明 43
3-6 曝光 45
3-7 显影和定影 45
第四章 罗甸干版 46
4-1 罗甸干版的特点 46
4-2 罗甸干版的制造 46
4-3 罗甸干版的检验 53
4-4 罗甸干版的显影和定影 53
4-5 制作罗甸干版的药品及配方 54
5-2 超微粒干版的制造 57
5-1 超微粒干版的特点 57
第五章 超微粒干版 57
5-3 超微粒干版的使用 63
5-4 提高超微粒干版质量的几个问题 68
5-5 部分药剂及设备的制作 72
第六章 精密缩小与分步重复 75
6-1 精缩分步的基本原理 75
6-2 精缩分步的主要设备 77
6-3 精缩分步的操作工艺 88
第七章 真空蒸铬 96
7-1 真空蒸发的基本原理 96
7-2 蒸发设备及系统 97
7-3 蒸发工艺 99
7-4 铬版的优点 102
7-5 铬膜质量的几点讨论 103
7-6 真空蒸铬时经常发生的故障及排除方法 105
第八章 复印工艺 107
8-1 复印的基本原理 107
8-2 复印机 107
8-3 干版复印 110
8-4 修版 113
8-5 铬版复印 115
8-6 特细线条复印和复合版复印 127
8-7 复印对版子套准的影响 128
附录 130
Ⅰ 照相机镜头常识 130
Ⅱ 显影和定影技术 136
Ⅲ 常用配方 149
Ⅳ 尺寸单位 152
Ⅴ 摄影用有毒药品及解毒法 153
- 《半导体器件平面工艺 制版》上海无线电十七厂 1971
- 《半导体器件制造中的制版技术》天津市半导体器件厂编 1970
- 《半导体器件生产自动化专辑 国外集成电路光刻制版自动化》 1977
- 《无线电通信用半导体器件手册》《无线电通信用半导体器件手册》编写组编 1975
- 《半导体器件手册无线电能信用》无线电通信用半导体器件手册编写组编 1978
- 《《半导体器件平面工艺》光刻》上海无线电十七厂组织编写 1971
- 《无线电制作DIY手册》张歌编著 2005
- 《无线电装接工》佘明辉主编;郭小芳副主编 2010
- 《半导体制版工艺 译文专辑》上海市仪表电讯技术情报所编辑 1976
- 《无线电技术基础》沈长生等编著 2005
- 《专用半导体器件》上海无线电十七厂译 1972
- 《产品样本》上海无线电二十七厂编 1977
- 《光刻》上海无线电十七厂编 1971
- 《晶体管产品目录》上海无线电十七厂 1973
- 《产品样本 第2册》上海无线电二十七厂编 2222
- 《半导体光电器件及其应用》上海无线电十七厂 2222
- 《半导体光电器件及其应用》上海无线电十七厂编辑 1975
- 《无线电变压器设计》上海无线电二十七厂编 1972
- 《半导体器件平面工艺 制版》上海无线电十七厂 1971
- 《《半导体器件平面工艺》光刻》上海无线电十七厂组织编写 1971
- 《上海方言词汇集》(英)艾约瑟(J.Edkins)编著 2016
- 《最高人民法院新闻发布会实录 2012=records of supreme people's court press conferences 2012》 2222
- 《中华人民共和国国家标准 GB/T16623-1996 压配式实心轮胎=Pressed-on solid tyres》 2222
- 《中华人民共和国国家标准 GB/T16622-1996 压配式实心轮胎系列=Series of pressed-on solid tyres》 2222
- 《中华人民共和国国家标准 GB/T16623-2008 压配式实心轮胎技术规范=Technical specification of Pressed-on solid tyres》 2222
- 《中华人民共和国国家标准 GB/T21692-2008 数控压力机、液压机用模拟负荷测试系统=Analog load testing system for CNC presses and hydra》 2222
- 《THE GOVERNMENT/PRESS CONNECTION PRESS OFFICERS AND THEIR OFFICES》STEPHEN HESS 1984
- 《PRESS》POLITICS & PUBLIC OPINION IN BIHAR 1912-1947 2010
- 《Press law》Robin Callender Smith. 1978
- 《西蜀方言》(英)钟秀芝著;杨文波,黄自然,杨昱华,彭玉康,吴卸耀校注;薛才德审订;姚小平,姚喜明丛书主编;杨文波副主编 2017