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电子工业生产技术手册  5  电真空器件卷

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工业技术

图书介绍

第3篇 光电器件 3

第1章 特种材料 3

1.1 光电导材料 3

1.1.1 对光电导材料的一般要求 3

目录 3

1.1.2 氧化铅 4

1.1.3 硫化锑 4

1.1.4 硒、砷和碲 6

1.1.5 碲化锌、镉 8

1.1.6 硒化镉 9

1.1.7 单晶硅 10

1.2 发射体材料 11

1.2.2 碱化合物材料 13

1.2.1 对发射体材料的一般要 13

求和分类 13

1.2.3 氧化物型发射体 15

1.2.4 合金型发射体 16

1.2.5 新型发射体材料 18

1.3 热电材料 19

1.3.1 对热电材料的一般要求 20

1.3.2 几种主要的热电材料 20

1.4 发光材料 23

1.4.1 光电器件对荧光粉的要求 23

1.4.2 光电器件常用荧光粉 24

1.4.3 多色荧光粉 41

1.4.4 X射线荧光粉 42

1.5.1 玻璃窗口材料 44

1.5 窗口材料 44

1.5.2 晶体窗口材料 45

1.5.3 光学纤维面板 50

1.5.4 金属等其它窗口材料 52

参考资料 54

第2章 特种封接 55

2.1 玻璃过渡封接 55

2.1.1 钨组-铂组玻璃封接 55

2.1.2 石英-钨组玻璃封接 58

2.2 蓝宝石与玻璃的封接 64

2.2.1 封接材料 64

2.2.2 封接工艺 65

2.3.1 氟化物单晶的性能 67

2.3 氟化物与玻璃的封接 67

2.3.2 封接工艺 68

2.4 光纤面板封接 69

2.4.1 封接材料 69

2.4.2 封接材料的预处理 70

2.4.3 封接工艺 71

2.5 铟封 72

2.5.1 铟的性质 72

2.5.2 铟封工艺 72

2.5.3 热铟封 73

参考资料 74

第3章 光电阴极 75

3.1 阴极基层 75

3.1.1 基层的材料 75

3.1.2 基层制备工艺 76

3.1.3 基层的膜厚监控 77

3.2.1 碱金属的主要性能 78

3.2 碱金属源 78

3.2.2 碱金属的制取方法 79

3.2.3 碱源的种类 79

3.2.4 碱源的制备 81

3.2.5 碱源的新进展 84

3.3 银氧铯阴极 86

3.3.1 Ag-O-Cs阴极组分和结构 86

3.3.2 Ag-O-Cs阴极的制备工艺 86

3.3.3 Ag-O-Cs阴极光电特性 89

3.4 铋铯阴极与铋银氧铯阴极 91

3.4.1 铋铯阴极 91

3.4.2 铋银氧铯阴极 92

3.5.1 单碱锑化物阴极的制备工艺 94

3.5 单碱锑化物阴极 94

3.5.2 单碱锑化物阴极的主要性能 95

3.5.3 锑铯阴极 96

3.6 双碱锑化物阴极 99

3.6.1 锑钠钾阴极 99

3.6.2 锑钾铯阴极 101

3.6.3 锑铷铯阴极 102

3.7 多碱锑化物阴极 103

3.7.1 三碱阴极制备工艺 103

3.7.2 三碱阴极主要性能 105

3.7.3 四碱阴极的制备工艺和主要性能 106

3.8 紫外灵敏阴极 107

3.8.1 透紫光窗材料的选择 107

3.8.2 “大气日盲”阴极 109

3.8.3 “高空日盲”阴极 112

3.9 负电子亲和势阴极(即NEA 114

阴极) 114

3.9.1 NEA阴极的电子传输过程 114

3.9.2 NEA阴极的原材料 115

3.9.3 NEA阴极的激活工艺 116

3.9.4 NEA阴极的主要性能 118

3.10 光电阴极的性能测试 119

3.10.1 灵敏度或量子效率 119

3.10.2 光谱响应曲线 121

3.10.3 暗电流 124

3.10.4 光电特性和线性电流 125

参考资料 126

3.10.5 阴极均匀性 126

第4章 导电膜与介质膜 127

4.1 导电膜 127

4.1.1 透明导电膜 127

4.1.2 石墨导电膜 131

4.2 介质膜 132

4.2.1 二氧化硅膜(SiO2膜) 133

4.2.2 氧化镁膜 136

4.2.3 硫化锌膜 138

4.3 其它 140

4.3.1 厚膜印刷 140

4.3.2 光学条纹滤色器 144

参考资料 151

第5章 荧光屏 152

5.1.1 涂覆荧光屏对去离子水、压缩空气、热水和环境的要求 153

5.1 单色荧光屏 153

5.1.3 喷涂法制屏 162

5.1.4 旋涂法制屏(小屏面示波管) 163

5.1.2 沉淀法涂屏 164

5.2 内刻度 164

5.2.1 照相制版 165

5.2.2 玻屏(或玻壳)清洗 165

5.2.3 配胶 165

5.2.7 焙烧 166

5.3.1 荫罩式 166

5.2.8 检验 166

5.3 彩色荧光屏 166

5.2.6 显影 166

5.2.5 曝光 166

5.2.4 涂胶 166

5.3.2 穿透式 182

5.4 特殊屏 184

5.4.1 输入屏 184

5.4.2 输出屏 185

5.5 有机膜及其涂覆 189

5.5.1 有机膜 189

5.5.2 溶液成膜 189

5.5.3 乳液成膜 195

5.5.4 有机膜涂覆的环境条件 195

5.6 屏的铝化 196

5.6.1 屏的铝化工艺 196

5.6.2 铝化屏的质量要求 198

5.6.3 屏的检验 199

参考资料 200

第6章 荫罩与网 201

6.1 荫罩 201

6.1.1 荫罩的种类 201

6.1.2 荫罩的加工方法 202

6.1.3 荫罩加工的工艺流程 202

6.1.4 母版与工作版的制作 203

6.1.5 荫罩材料的表面处理 206

6.1.6 感光胶的涂覆 207

6.1.7 曝光与显影 211

6.1.8 腐蚀与剥膜 214

6.1.9 荫罩产品的质量检验 216

6.2.1 高密度网 219

6.2 网 219

6.2.2 低密度网 225

参考资料 225

第7章 摄像管靶 226

7.1 硫化锑靶 227

7.1.1 典型结构 227

7.1.2 靶的制备 228

7.1.3 硫化锑摄像管(Vidicon)的典型特性 229

7.1.4 靶特性的改进 230

7.2 硫氧化锑靶 232

7.2.1 典型结构 232

7.2.2 靶的制备 232

7.2.3 硫氧化锑摄像管的典型特性 233

7.3 氧化铅靶 233

7.3.1 典型结构 233

7.3.2 靶的制备 234

7.3.3 氧化铅摄像管(Plumbicon)的典型特性 235

7.4 硒砷碲靶 236

7.4.1 典型结构 236

7.4.2 靶的制备 237

7.4.3 硒砷碲摄像管(Saticon)的典型特性 238

7.4.4 靶特性的改进 239

7.5 碲化锌镉靶 240

7.5.1 典型结构 240

7.5.2 靶的制备 241

7.5.3 碲化锌镉摄像管(Newvicon)的典型特性 241

7.6 硒化镉靶 242

7.6.1 典型结构 242

7.6.2 靶的制备 242

7.6.4 靶特性的改进 244

7.6.3 硒化镉摄像管(Chalnicon)的典型特性 244

7.7 硒碲镉靶 245

7.7.1 典型结构 245

7.7.2 靶的制备 245

7.7.3 硒碲镉摄像管(Tosvicon)的典型特性 246

7.8 无定形硅靶 246

7.8.1 典型结构 246

7.8.2 靶的制备 247

7.8.3 无定形硅靶摄像管的特性 248

7.9 硅二极管阵列靶 249

7.9.1 典型结构 249

7.9.2 靶的制备 250

7.9.3 硅靶摄像管(Silicon Vidicon)的典型特性 251

7.10.1 典型结构 252

7.9.4 靶特性的改进 252

7.10 热释电靶 252

7.10.2 靶的制备 253

7.10.3 热释电摄像管的典型特性 254

7.11 介质靶 255

7.11.1 SEC靶的典型结构 255

7.11.2 SEC靶的制备 256

7.11.3 SEC摄像管的典型特性 256

7.11.4 SEC靶的改进 256

7.12 靶的检验 257

参考资料 258

第8章 通道电子倍增器和微通 259

道板 259

8.1.2 制作工艺 260

8.1.1 典型结构 260

8.1 单通道 260

8.1.3 性能参数 261

8.1.4 应用 264

8.2 微通道板 265

8.2.1 典型结构 265

8.2.2 制作MCP的材料和工艺 266

8.2.3 通道板的特性 272

8.2.4 产品规格和性能参数 277

8.2.5 验收标准 278

8.2.6 MCP的应用及注意事项 279

8.2.7 工艺技术新进展 285

参考资料 286

学系统 287

9.1.1 聚焦系统 287

第9章 电子光学系统 287

9.1 显示和摄像管的电子光 287

9.1.2 偏转系统 309

9.1.3 组装 326

9.2 光电倍增管的电子光学系统 327

9.2.1 基本原理 327

9.2.2 典型结构 329

9.2.3 零部件加工 332

9.2.4 装配 333

9.3 像增强管的电子光学系统 334

9.3.1 基本原理 334

9.3.2 典型结构 334

9.3.3 零部件加工 338

9.4.1 摄像管方面的进展 339

9.3.4 装配 339

9.4 电子光学系统的进展 339

9.4.2 显示管方面的进展 342

9.4.3 其它光电器件的进展 344

参考资料 344

第10章 封口和排气 346

10.1 封口 346

10.1.1 封口典型加工方法 346

10.1.2 各类管种封口的典型工艺 348

10.1.3 封口后检验及废品分析 351

10.2 排气 353

10.2.1 排气系统的选择 353

10.2.2 排气工艺过程 357

10 2.3 光电器件的排气工艺 365

参考资料 374

第11章 老炼与测试 375

11.1 老炼 375

11.1.1 老炼的作用 375

11.1.2 光电倍增管的老炼 375

11.1.3 阴极射线管的老炼 378

11.1.4 摄像管的老炼 382

11.1.5 存储管的老炼 383

11.1.6 微光像增强管的老炼 383

11.1.7 等离子体显示板的老炼 385

11.2 测试 385

11.2.1 测试条件和注意事项 386

11.2.2 光电倍增管的测试方法 387

11.2.3 阴极射线管的测试方法 391

11.2.4 摄像管的测试方法 400

11.2.5 直观存储管的测试方法 402

11.2.6 像增强管的测试方法 404

11.2.7 等离子体显示板的测试方法 410

参考资料 412

附录 粘度的测定 413

第4篇 电光源 417

第1章 电光源用的特种材料 417

1.1 卤钨灯用循环材料 417

1.1.1 卤钨循环的典型反应过程 417

1.1.2 循环材料的基本要求 417

1.1.3 卤素的特性及其在灯中的作用 417

1.1.4 卤化物的特性及作用 419

1.2 灯用气体 424

1.3 放电材料 426

1.3.2 金属放电材料的性质和光谱特性 427

1.3.1 基本要求 427

1.3.3 稀土金属放电材料的性质和光谱特性 431

1.4 电光源用玻璃 436

1.4.1 常用玻璃的种类、化学组成和理化性能 436

1.4.2 特种玻璃的化学组成 437

1.4.3 石英玻璃 439

1.5 灯用荧光粉 442

1.5.1 不同电光源对荧光粉的要求 442

1.5.2 灯用荧光粉的特性 443

1.6 气体放电灯用电极材料 452

1.6.1 用作电极材料的某些金属 452

1.6.2 一些发射材料的特性 457

参考资料 470

2.1.1 圆盘式吹泡机吹制工艺 471

第2章 管壳制造 471

2.1 机制玻壳 471

2.1.2 履带式吹泡机吹制工艺 478

2.1.3 玻壳压制机压制工艺 480

2.2 人工吹制玻壳 481

2.2.1 标准光源玻壳 481

2.2.2 彩色玻壳 481

2.2.3 黑光玻壳 482

2.2.4 特硬料玻壳 482

2.3 机制玻管 483

2.4 石英管壳制造 484

2.4.1 石英管壳分类 484

2.5.1 粉料的制备 485

塞的制造 485

2.5 半透明多晶氧化铝管和封接 485

2.4.2 石英管壳制造 485

2.5.2 氧化铝管和塞的成形 487

2.5.3 氧化铝管的烧结 489

2.5.4 切割、清洗和检验 490

第3章 管壳表面处理和涂覆 491

3.1 灯用荧光粉制备 491

3.1.1 基本过程 491

3.1.2 荧光灯用荧光粉制备 492

3.1.3 荧光高压汞灯用荧光粉制备 498

3.2 荧光粉涂覆工艺 499

3.2.1 荧光灯涂覆工艺 499

3.2.2 荧光高压汞灯涂覆工艺 505

3.2.3 白炽灯涂覆工艺 507

3.3.1 铝膜蒸镀 509

3.3 蒸镀工艺 509

3.3.2 冷光膜 510

3.4 化学腐蚀工艺 514

3.4.1 腐蚀液配制 514

3.4.2 腐蚀工艺 515

3.5 其它涂覆工艺及涂层 515

3.5.1 其它涂覆工艺 515

3.5.2 其它涂层 516

参考资料 519

第4章 灯丝导丝制造 520

4.1 灯丝制造 520

4.1.1 常用灯丝的几种形状及典型规范 520

4.1.2 灯丝绕制 523

4.1.3 烧氢定型 527

4.1.4 溶芯线 528

4.1.5 灯丝检测 529

4.1.6 缺陷分析及改进 529

4.2 导丝制造 530

4.2.1 技术要求 531

4.2.2 三节导丝制造 531

4.2.3 四节导丝制造 532

4.3 钩件制造 533

4.3.1 钩子丝 533

参考资料 534

5.1.3 结构 535

5.1.2 发射材料 535

5.1.1 基金属 535

5.1 阴极结构 535

第5章 电极制造 535

4.3.2 钩件 535

5.2 发射材料及涂覆液的制备 537

5.2.1 三元碳酸盐的制备及涂覆液的配制 537

5.2.2 锆酸盐的制备及涂覆液的配制 538

5.2.3 钨酸盐的制备及涂覆液的配制 538

5.2.4 铝酸盐的制备及涂覆液的配制 538

5.2.5 金属卤化物灯用发射材料涂覆液的配制 539

5.3 阴极制造 539

5.3.1 绕制阴极 539

5.3.2 压制阴极 541

5.3.3 车制阴极 542

5.4 阴极的处理和涂覆工艺 542

5.4.1 阴极的处理 542

5.4.2 发射材料涂覆工艺 543

5.5 阴极常用装配结构形式 545

5.5.1 荧光灯阴极装架件 545

5.5.2 高压汞灯阴极的装架形式 546

5.5.3 高压钠灯阴极的装架形式 547

5.5.4 阴极的特种装配形式 547

第6章 充填物质及吸气剂 548

6.1 钠、汞的纯化和充填方法 548

6.1.1 钠的纯化和充填方法 548

6.1.2 汞的纯化 550

6.1.3 钠汞齐的制备 551

6.2 金属卤化物的制备和纯化 552

6.2.1 一般金属卤化物的制备和纯化 552

6.2.2 稀土卤化物的制备和纯化 560

6.3 卤钨循环剂的制备和纯化 562

6.4 稀有气体纯化 566

6.4.1 铜氧化及还原法 566

6.4.2 银X型分子筛法 567

6.4.3 锆-铝16纯化法 568

6.4.4 冷冻循环纯化法 569

6.5 红磷吸气剂制备和纯化 569

6.5.1 红磷的纯化 569

6.5.2 红磷吸气剂制备 570

6.5.3 氮化磷吸气剂 570

参考资料 571

第7章 电光源中的玻璃、陶瓷与 572

金属封接 572

7.1 玻璃与杜美丝及钨的封接 572

7.1.1 玻璃与杜美丝的封接 572

7.1.2 玻璃与钨的封接 573

7.2 石英玻璃与金属的封接 574

7.2.1 石英玻璃与钼的封接 574

7.2.2 石英玻璃与钨杆的封接 579

7.2.3 石英玻璃与铜的封接 580

7.3 半透明多晶氧化铝陶瓷管 584

壳的封接 584

7.3.1 封接焊料制备 585

7.3.2 玻璃焊料的涂覆及环的制造 587

7.3.3 氧化铝陶瓷管与铌帼的封接 588

7.3.4 陶瓷管和陶瓷塞的封接 589

7.3.5 无排气管封接 590

参考资料 592

8.1.1 封口 593

8.1 封口、成形 593

第8章 总装配 593

8.1.2 异形荧光灯成形 596

8.2 排气 597

8.2.1 普通白炽灯泡排气 597

8.2.2 卤钨灯泡排气 601

8.2.3 低气压放电灯排气 603

8.2.4 高强度放电灯排气 607

8.2.5 外壳排气 611

8.3 打印 611

8.3.1 印泥制备 611

8.3.2 打印方法 612

8.4 灯头装焊 613

8.4.1 灯头类型 613

8.4.2 焊泥制备 614

8.4.3 装头 615

8.4.4 焊锡 616

8.5 老炼 618

8.5.1 普通白炽灯泡老炼 618

8.5.2 荧光灯老炼 620

8.5.3 高强度放电灯老炼 621

8.6 包装 621

参考资料 621

第9章 电光源测试 622

9.1 电参数测试 622

9.1.1 白炽灯电参数测试 622

9.1.2 气体放电灯电参数测试 624

9.2 光参数测试 626

9.2.1 光参数测量用的标准灯 628

9.2.2 发光强度 631

9.2.3 光通量 635

9.2.4 光亮度 641

9.2.5 亮温度 643

9.2.6 光谱功率分布 645

9.2.7 光源的色坐标、色温和相关色温 647

9.2.8 光源显色指数 652

9.3 寿命试验 656

9.3.1 白炽灯的寿命试验 656

9.3.2 气体放电灯的寿命试验 657

参考资料 658

附录 659

附录1 积分球内壁涂层涂覆工艺 659

附录2 计算光源显色指数用的数据表 659

附录3 常用计量单位与法定计量单位换算表 669

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