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目录 1

绪论 1

1．关于传感器的定义和分类 1

2．传感器的通性 2

3．对传感器的基本要求 7

4．可靠性和小型化问题 8

第一章 传感器的弹性元件 13

1．弹性元件的主要特性和结构型式 13

2．有边波纹的罩式平膜片计算 26

3．应变梁端部与膜片中心的连接 29

4．膜片与传感器壳体之间的温度梯度对灵敏度的影响 32

5．膜片式弹性元件的压力传递滞后 38

6．新型弹性元件的制造工艺问题 40

第二章　传感器的敏感元件 47

1．传感器敏感元件的主要型式 47

2．半导体应变式敏感元件 48

3．电磁式敏感元件 73

4．压电式敏感元件 84

5．电容式敏感元件 89

6．温度敏感元件 100

1．半导体应变式传感器 113

第三章　压力传感器 113

2．电磁式传感器 126

3．电容式传感器 129

4．弦丝式传感器 133

第四章 振动参数传感器 139

1．小型精密压电式振动加速度传感器 139

2．减小横向寄生灵敏度的途径及转动灵敏度的测量方法 142

第五章　气体流量计传感器 147

1．半导体应变式传感器 147

2．半导体电磁式传感器 152

3．有线性特性的速度头流量计 153

第六章　温度传感器 156

1．有金属丝敏感元件的温度传感器 156

2．单晶锗型温度传感器 157

3．温度传感器的新型结构元件——镓合金（金属胶） 158

4．温度传感器的动态特性 162

附录Ⅰ 平膜片半导体压力传感器的灵敏度和频率 167

特性计算 167

附录Ⅱ 半导体流量传感器的灵敏度计算方法 177

参考资料 181

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