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微机械与微细加工技术
苑伟政，马炳和编著（西北工业大学机电学院）2000 年出版243 页ISBN：7561212747本书系统地介绍了微机械学科的起源、发展过程及当前国内外该学科的研究内容和成果，包括微机械理论基础、微机械材料与微结构、微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术等等。...
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