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微机电器件设计 制造及计算机辅助设计
郭占社编著2016 年出版272 页ISBN：9787512421097本书首先介绍了MEMS的相关基本理论，微机电系统的重要材料和制造工艺。在这些理论的基础上，对设计规则和重要的工程实例都进行了详细描述。然后，结合MEMS（包括加速度测量）的许多工程应用介绍了角速度测量和压力测...
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