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电容式微机械超声换能器工作机理与应用基础
王红亮著2018 年出版206 页ISBN：9787030566416基于MEMS技术的电容式微机械超声传感器（CapacitiveMicromachinedUltrasonicTransducer，CMUT）具有传统压电超声传感器所不具备的显著优势，有望替代传统压电超声传感器成为市场的主流产品。针对电容式微机械超声...
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