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半导体工艺和器件仿真软件Silvaco TCAD实用教程
唐龙谷编著2014 年出版236 页ISBN：9787302354314本书详细讲解了TCAD仿真基础、Silvaco TCAD的二维工艺仿真、二维器件仿真、器件—电路混合仿真以及一些高级的仿真特性。书中详细的语法解释和丰富的例句可以使读者快速入门并深入理解TCAD。...
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微机电器件设计 制造及计算机辅助设计
郭占社编著2016 年出版272 页ISBN：9787512421097本书首先介绍了MEMS的相关基本理论，微机电系统的重要材料和制造工艺。在这些理论的基础上，对设计规则和重要的工程实例都进行了详细描述。然后，结合MEMS（包括加速度测量）的许多工程应用介绍了角速度测量和压力测...
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光纤器件制造理论与技术
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