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多晶硅微机械构件材料力学行为及微机械粘附问题研究
丁建宁著2004 年出版203 页ISBN：7040159902本书是一部论述微机械材料系统基础问题的专著，取材于作者在博士学位论文阶段的研究成果。作者在系统总结国内外有关微机电系统的最新研究进展基础上，论述了微型机械设计学的研究范畴，系统地阐述了微机械构件材...
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