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集成电路制造技术原理与工艺
王蔚，田丽，任明远编著；刘晓为主审2013 年出版356 页ISBN：9787121206801本书共分5个单元，第一单元，主要介绍单晶硅衬底结构特点，体硅和外延硅片的制造方法；第二单元～第五单元，主要介绍硅芯片制造基本单项工艺（氧化、掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集成与封装测试）的原理、方法、设备......
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设备管理、监测诊断及维修改造 第七届全国设备管理、第八届全国设备维修与改造学术会
中国机械工程学会设备与维修工程分会编2013 年出版212 页ISBN：9787111444664在国家节能减排等大政方针的指导下，设备管理、设备维修与改造、设备故障监测与液压润滑技术得到了较大发展。针对国内生产企业的技术发展和需求，中国机械工程学会设备与维修工程分会组织全国机械、冶金、航空...
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