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软X射线与极紫外辐射的原理和应用
（美）D.阿特伍德著；张杰等译2003 年出版458 页ISBN：7030108132这本自成体系的综合教科书主要介绍软X射线与极紫外（EUV）辐射的基本特性，讨论它何在多个领域的广泛应用，包括用于半导体芯片制备的极紫外光刻和生物样品的软X射线显微。本书由辐射、散射、波的传播、衍射、相干...
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