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微电子机械加工系统(MEMS)技术基础
孙以材，庞冬青编著2009 年出版194 页ISBN：9787502447946本书介绍微电子机械加工（MEMS）技术基础，详细介绍了电学、热血和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法等。
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微电子技术原理、设计与应用 原书第2版
（美）JerryC.Whitaker著；刘波，曲新波，郭飞译2008 年出版514 页ISBN：9787111238799本书详细介绍了微电子技术的原理与各种应用系统的设计与实现原理。
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