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洁净室及相关受控环境 理论与实践
涂光备著2014 年出版488 页ISBN:9787112171491本书凝结了作者及其科研团队几十年的研究成果,其中有科研成果的分享,也有经验的总结。书中对洁净室及相关受控环境相关内容的历史演变脉络做了概括地介绍。以方便扶着了解某项技术的方法、标准等的发展和变化...
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