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微电子制造科学原理与工程技术
(美)坎贝尔(Campbell,S.A.)著(明尼苏达大学电子与计算机工程系)2003 年出版604 页ISBN:7505386263本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一...
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微位移平台数据采集与处理技术
邵萌,赵德宏,王赛男著2018 年出版168 页ISBN:9787551720229《微位移平台数据采集与处理技术》一书以沈阳建筑大学微纳检测与运动控制实验室的纳米位移定位平台为研究对象,对微位移平台数据采集,包括控制系统数据采集部分以及检验系统数据采集部分分别进行了介绍,并对控...
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木材微胶囊预处理及功能化制备技术
傅峰,吕少一,胡拉编著2019 年出版199 页ISBN:9787030607867本书是国家”十五”863计划资助项目的研究成果。我国木材工业的发展已进入转型和升级的关键时期,功能化处理成为增加产品附加值、扩大产品应用领域以及提升产业竞争力的重要途径之一。本书围绕我国林产品提...
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