《碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法》PDF电子版

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  • 作  者:李圣怡等著
  • 出 版 社:北京:科学出版社
  • 出版年份:2014
  • ISBN:9787030391100
  • 标注页数:186 页
  • PDF页数:200页
  • MD5值:8f24fcde1f9f441bd5007b5baee1b005
图书介绍:本书重点介绍了我们承担的国家重大基础研究项目(973)的研究成果的一部分。是一部专门针对新一代空间光学碳化硅光学材料加工的专著。内容包括:五种典型碳化硅光学材料如碳/碳化硅(C/SiC)、硅/碳化硅(Si/SiC)两相涂层、化学气相沉积碳化硅(CVDSiC)、反应烧结碳化硅(RBSiC)以及烧结碳化硅(SSiC)的显微结构与力学行为;碳化硅反射镜磨削、研磨、传统抛光与可控柔体加工的材料去除机理与相关工艺;适用于碳化硅反射镜的高效、高精度、超光滑加工工艺路线以及具有代表性的碳化硅光学元件加工实例等。