图书介绍：本书主要包括研究背景、内容简介及其学术意义等。本书全面深入地介绍了低温等离子体的产生方法、基本原理、以及在微电子、新材料、环境保护和表面处理等领域所发挥的重要作用。全书共20章，其中第一章阐述了科学技术与工业革命的关系，总结回顾了引导第一和第二次工业革命的相关技术，提出了影响21世纪发展的几种关键技术；2～20章系统论述了等离子体的基础概念，基本原理和产生方法，结合实例阐述了等离子体在微电子、材料表面处理、高分子材料、光伏、平板显示、环境保护、生物材料、纺织工艺、废物利用和聚变领域的应用。