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《半导体薄膜技术与物理 第2版》PDF电子版
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10
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作 者：
叶志镇
吕建国
吕斌
张银珠编著
出 版 社：杭州：浙江大学出版社
出版年份：2014
ISBN：9787308139106
标注页数：237 页
PDF页数：253页
MD5值：7918d546397179041ed26a9960dc8df2
图书介绍：“十二五”普通高等教育本科国家级规划教材，浙江大学材料科学与技术丛书。本科生教学用书，介绍半导体薄膜的真空技术；物理气相沉积技术（PVD）；化学气相沉积技术（CVD）；分子束外延技术；液相外延技术等内容。
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