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马列毛邓
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《微电子技术工程 材料、工艺与测试》PDF电子版
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18
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作 者：
刘玉岭等编著
出 版 社：北京：电子工业出版社
出版年份：2004
ISBN：7120000217
标注页数：649 页
PDF页数：665页
MD5值：1edd5674c7b33779603c76b67e5c938e
图书介绍：本书介绍了微电子器件衬底材料性能、加工工艺与测试技术。全书共分15章，内容涉及硅单晶性质与加工技术、外延、氧化、扩散、制版、图形转移、刻蚀、多层布线、封装、键合、微机械加工及检测技术。
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