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《微机电系统与微细加工技术》PDF电子版
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10
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作 者:
朱荻
云乃彰
汪炜等编
出 版 社:哈尔滨:哈尔滨工程大学出版社
出版年份:2008
ISBN:9787811332384
标注页数:227 页
PDF页数:236页
MD5值:4de73b7b26cf4606b2522d78ee17de7e
图书介绍:本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章,概述了微机电系统技术和微细加工技术的发展趋势,对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。
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