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《集成电路制造与封装基础》PDF电子版
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13
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作 者:
商世广
金蕾
赵萍
谢瑞著
出 版 社:北京:科学出版社
出版年份:2018
ISBN:9787030583864
标注页数:381 页
PDF页数:395页
MD5值:a753ba8ad8340b09cdfa7b505c8ad34b
图书介绍:本书主要介绍了半导体性质、硅片制备、氧化技术、光刻技术、图形技术、掺杂技术、薄膜物理制备、薄膜化学制备、工艺集成、工艺监控、封装技术、可靠性设计、可靠性筛选和组装检测等微电子技术领域的基本内容,这些内容为进一步掌握半导体材料、半导体器件和集成电路制造、封装和测试的基本理论和方法奠定坚实的基础。
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