《半导体制造技术》PDF电子版

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作　　者：（美）迈克尔·夸克朱利安·瑟达著
出版社：北京：电子工业出版社
出版年份：2009
ISBN：9787121089442
标注页数：600 页
PDF页数：616页
MD5值：9e0fbc1ac203b7bdf477826124a3caea

图书介绍：本书详细追述了半导体发展的历史并吸收了当今最新技术资料，学术界和工业界对本书的评价都很高。全书共分20章，根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排章节，包括与半导体制造相关的基础技术信息；总体流程图的工艺模型概况，用流程图将硅片制造的主要领域连接起来；具体讲解每一个主要工艺；集成电路装配和封装的后部工艺概况。此外，各章为读者提供了关于质量测量和故障排除的问题，这些都是会在硅片制造中遇到的实际问题。

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