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RF MEMS理论·设计·技术
(美)Gabriel M. Rebeiz著;黄庆安,廖小平译2005 年出版403 页ISBN:7564101970本书共分15章,论述RF MEMS与传统半导体器件相比之下的优点及其应用领域;论述RF MEMS器件的静态、动态和电磁模型;论述了国际上RF MEMS 开关的研究进展;论述MEMS开关的制备、封装、可靠性及功率处理能力;MEMS开关...
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本书共分15章,论述RF MEMS与传统半导体器件相比之下的优点及其应用领域;论述RF MEMS器件的静态、动态和电磁模型;论述了国际上RF MEMS 开关的研究进展;论述MEMS开关的制备、封装、可靠性及功率处理能力;MEMS开关...