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脉冲激光沉积类金刚石膜技术
程勇等帮助2017 年出版422 页ISBN:9787030515513全书共七章内容。从介绍类金刚石膜性质、组成、制备及应用入手,阐述了脉冲激光沉积技术及其在制备类金刚石膜方面的机理和优、缺点,以及类金刚石膜的测试与表征;详细讨论了激光参数、基底状态、靶材种类以及环...
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